




氦質譜檢漏儀的主要及時指標
科儀創(chuàng)新是專業(yè)生產氦質譜檢漏儀的廠家,專業(yè)用于電廠檢漏。關鍵部件均為進口,性能穩(wěn)定可靠。不僅靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。今天科儀創(chuàng)新的小編就和大家來分享一下氦質譜檢漏儀的主要及時指標。
1. 較小可檢漏率:5×10-12Pa·m3/s
2. 漏率顯示范圍:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3. 啟動時間:≤5min
4. 響應時間:≤1s
5. 檢漏口的較高壓力:1500Pa
6. 電源要求:220v,50Hz,單相,10A
7. 工作環(huán)境:5-35℃
8. 相對濕度:≤80%
9. 外形尺寸:550(w)×400(D)×780(H)
10. 重量:64kg
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氦質譜檢漏儀的進展
經過近半個世紀的努力,今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現(xiàn)在如下幾個方面:
(1)便攜式:近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節(jié)零點,量程自動轉換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng),不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題,而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。
例如:瑞士、日本采用改變分子泵轉速來達到此目的,且提高檢漏靈敏度。
另外,逆擴散檢漏方式,實現(xiàn)了高壓強下檢漏,也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
氦質譜檢漏儀的應用拓展一
例如火箭發(fā)動機及姿態(tài)發(fā)動機,過去是打壓刷肥皂水檢漏,現(xiàn)在重新改進工藝用氦質譜檢漏儀檢漏,采用正壓吸槍與氦罩法結合,使檢漏靈敏度大大提高,從而保證了發(fā)動機質量?;鸺w的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結合。由于檢漏技術的應用,提高了檢漏靈敏度,彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。按照施漏氣體方法的不同,又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。
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氦質譜檢漏儀的原理
氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質譜管包括離子源,質量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現(xiàn)分離。
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